製品詳細

Products

卓上CMP装置

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KD-300

KM-15-Ⅼ １

KD-300

卓上CMP装置

KD-300

簡易型卓上CMP装置、耐薬品仕様で
プラテン径 φ300φ100㎜までの
ワーク加工可能です。

加工ヘッドの加圧 150N（１ N 分解能）ヘッド回転 CW、CCW 切り替え可能 8 ９ rpm（１ rpm 分解能）プラテン回転数 200rpm（１ rpm 分解能）テスト加工や少量生産に最適です。

簡易型卓上CMP装置

耐薬品仕様

ワーク加工可能

テスト加工や少量生産に最適

テキストテキスト

KM-15-Ⅼ １

卓上CMP装置

KM-15-Ⅼ １

各種条件の設定が可能なCMP装置で研究開発装置として最適です。

加工ヘッドは 1 軸タイプと2軸タイプがあり、加工ヘッドの揺動機工、強制ドライブ駆動と低摩擦シリンダーによる精密加圧制御で動作し、他段階レシピも備えられております。
加工ヘッドはバキュームタイプ、バックタイプの他、センター加圧式など多くのヘッドをワンタッチで交換可能な機工となっております。
２軸ヘッドでは量産加工も可能です。
消耗品
セラミックス貼りつけ盤、研磨パット、ダイヤモンドドレッサー等もございます。

研究開発装置として最適

1 軸タイプと2 軸タイプあり

強制ドライブ駆動

低摩擦シリンダー

精密加圧制御で動作

FAQ

よくあるご質問

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Processing

受託加工・テスト加工

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